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クリーン環境をまるごと見える化する新世代エアパーティクルセンサを発売
[09/04/15]
提供元：PRTIMES
提供元：PRTIMES
クリーン環境をまるごと見える化する新世代エアパーティクルセンサを発売
オムロン株式会社は、下記の新商品を４月１３日から発売します。
・ エアパーティクルセンサ 「ＺＮ−ＰＤ−Ｓ シリーズ」
形ＺＮ−ＰＤ０３−Ｓ （微粒子計測タイプ）
形ＺＮ−ＰＤ５０−Ｓ （粗粒子計測タイプ）
形ＺＮ−ＳＷ１１−Ｓ （環境見える化ソフトウェア）
オムロン株式会社は、下記の新商品を４月１３日から発売します。
・ エアパーティクルセンサ 「ＺＮ−ＰＤ−Ｓ シリーズ」
形ＺＮ−ＰＤ０３−Ｓ （微粒子計測タイプ）
形ＺＮ−ＰＤ５０−Ｓ （粗粒子計測タイプ）
形ＺＮ−ＳＷ１１−Ｓ （環境見える化ソフトウェア）
http://www.fa.omron.co.jp/particle
半導体やフラットパネルディスプレイの製造現場ではもちろん、携帯電話やデジタルカメラに
代表されるように電子機器の小型化・高機能化が進む製造現場においては、パーティクルを原因
とするトラブルが製品の品質に大きな影響を与えています。また、今後の成長が期待される太陽
電池や二次電池の製造工程においてもこうした異物管理は製品の品質を確保する上での重要管理
事項となりつつあります。
一方で、半導体の製造現場など特に高いクリーン度が要求されるクリーンルームでは、大量の
ＦＦＵ（ファンフィルタユニット）や空調設備を導入しているため、電気の使用量が大幅にアッ
プし、製造現場を省エネ化するための大きな阻害要因になっています。製品品質を確保するため
にＦＦＵや空調設備は必要だが、製造現場の省エネ化のためには、電力を大量に使用する設備は
できるだけ稼働させたくないという、相反する課題が増加しています。
そのため、必要な部分だけをクリーン化する「局所クリーン」を検討される企業が増えており、
「局所クリーン」化した部分が必要なクリーン度を保てているのかどうかを管理することが重要
な課題となっています。
［オムロンの商品コンセプト］
オムロンはこれまで自社を含むセル生産をおこなう製造現場や、電子部品製造工程の
局所クリーン化ニーズに応えるため、「エアクリーンユニット」、「エアパーティクルセンサ」
「イオナイザユニット」のクリーンセンシング機器を開発し、発売してきました。
今回はその中で培ったノウハウや実績を活かし、最近増加しつつある「製造“環境”の見える
化」という新たなニーズにお応えするため、全く新しい「環境センシングシリーズ」を順次発売
していくことを決定しました。温湿度やパーティクル、静電気など製造現場における、あらゆる
環境情報をセンシングし、常時「見える化」することで、製品品質の維持向上や無駄エネルギー
の発見に貢献してまいります。
＜環境センシングシリーズ第一弾：エアパーティクルセンサ＞
今回発売するエアパーティクルセンサは環境センシングシリーズの第一弾であり、
お客様に大きく二つのソリューションを提案いたします。
（１）浮遊するパーティクル（微粒子）を高精度に常時管理する
（２）落下するダスト（粗粒子）をかつてない手軽さで管理する
（１）高精度計測と常時計測を両立させた微粒子計測タイプ（形ＺＮ−ＰＤ０３−Ｓ）
これまで、０．３μｍ〜１．０μｍの微粒子計測は、一般的にはパーティクル計測機を用い
て人の手で定点測定している場合がほとんどでした。しかし、こうした場合は時間ごとや曜
日ごとなど、時系列的な傾向がつかみにくいだけでなく、断続的な測定となるため、万一不
具合が発生した場合の解析に十分活用することができませんでした。
今回発売する微粒子計測タイプのパーティクルセンサ（形ZN-PD03-S)なら、導入コストを大
幅に抑制しながら０．３μｍ、０．５μｍ、１．０μｍの微粒子を高精度に同時計測できま
すので、トレーサビリティや不具合時の解析、工数削減に大きく貢献します。
特長１ ＜計測器に迫る高精度計測＞
徹底的に整流化した内部構造と大吸引ファンで、２．８３リットル/minの吸引量を確保。高精度
変位センサで培ったオムロンのレーザ光学設計技術により、計測器並みの精度を実現しま
した。
特長２ ＜常時計測に適した省メンテナンス設計＞
長時間駆動が可能なファンの採用とレーザ間欠照射モードによるレーザ寿命の向上によ
り、メンテナンスの工数を大幅に削減できます。また、短寿命のため頻繁な交換が必要な
外付けポンプを不要としているため、メンテナンスコストも削減できます。
（２）ダスト計測と発塵源調査を1台で実現可能な粗粒子計測タイプ（形ＺＮ−ＰＤ５０−Ｓ）
クリーンルームではない一般環境で造られる製造物の品質に影響を及ぼす異物は、人や装置
から発塵される、粗い粒子（５μｍ〜５０μｍ程度）いわゆるダストである場合が大半です
が、これまでこういった粗粒子は管理規格もなく測定する機器も一般的ではなかったため、
容易に管理することができませんでした。
今回発売する粗粒子計測タイプのパーティクルセンサ（形ZN-PD50-S)は、これまで容易に実
現できなかったダスト管理をかつてない手軽さで実現します。
特長１ ＜落下するダストを効率的に計測＞
漏斗形状の吸引部を採用。大吸引ファンとの組合せで、落下するダストを確実に吸引しま
す。大きなダストはフィルタがキャッチするので、目詰まりも起こしにくく、交換も簡単
です。
特長２ ＜ダストキャッチ機能で発塵源の特定に貢献＞
引き出し構造のトラップボックスに両面テープを貼付すれば、吸引したダストを捕捉でき
ます。捕捉したダストを拡大観察することで、発塵源の特定につながります。
（３）計測データを異常の早期発見、傾向分析に活かす、環境見える化ソフト
「ＷａｖｅＩｎｓｐｉｒｅＥＳ」
環境見える化用ＰＣソフト ＷａｖｅＩｎｓｐｉｒｅＥＳ （形ＺＮ−ＳＷ１１−Ｓ）は、
ＬＡＮ接続したパーティクルセンサの計測データを簡単にグラフ化したり、ロギングしたり
できます。日々の変化をグラフで確認することもできるので、トレーサビリティや不具合の
解析に役立ちます。また、設置したパーティクルセンサの計測値をお客様の現場レイアウト
図上に表示できるので、製造現場の清浄度が一目でわかります。
今回発売するエアパーティクルセンサには、トリガ入力と２段階のアラーム出力とエラー出
力を装備。トリガ入力で必要なときだけ計測したり、管理レベルに応じた警報を出力したり
できます。また、ＬＡＮポートを標準搭載していますので、パソコンとイーサネットハブだ
けで簡単に多点監視システムを構成することが可能です。
さらに、ＰＬＣ（推奨：当社製 SYSMAC CS/CJシリーズ Ethernetユニット）と接続して、製
造環境に応じた独自の省エネシステムを構築していただけます。
■標準価格（税抜） オープン価格
■担当工場 綾部工場
■目標販売台数 ２００９年度 ２，０００台
■詳細お問い合わせ先
http://www.omron.co.jp/press/2009/04/i0415.html
オムロン株式会社は、下記の新商品を４月１３日から発売します。
・ エアパーティクルセンサ 「ＺＮ−ＰＤ−Ｓ シリーズ」
形ＺＮ−ＰＤ０３−Ｓ （微粒子計測タイプ）
形ＺＮ−ＰＤ５０−Ｓ （粗粒子計測タイプ）
形ＺＮ−ＳＷ１１−Ｓ （環境見える化ソフトウェア）
オムロン株式会社は、下記の新商品を４月１３日から発売します。
・ エアパーティクルセンサ 「ＺＮ−ＰＤ−Ｓ シリーズ」
形ＺＮ−ＰＤ０３−Ｓ （微粒子計測タイプ）
形ＺＮ−ＰＤ５０−Ｓ （粗粒子計測タイプ）
形ＺＮ−ＳＷ１１−Ｓ （環境見える化ソフトウェア）
http://www.fa.omron.co.jp/particle
半導体やフラットパネルディスプレイの製造現場ではもちろん、携帯電話やデジタルカメラに
代表されるように電子機器の小型化・高機能化が進む製造現場においては、パーティクルを原因
とするトラブルが製品の品質に大きな影響を与えています。また、今後の成長が期待される太陽
電池や二次電池の製造工程においてもこうした異物管理は製品の品質を確保する上での重要管理
事項となりつつあります。
一方で、半導体の製造現場など特に高いクリーン度が要求されるクリーンルームでは、大量の
ＦＦＵ（ファンフィルタユニット）や空調設備を導入しているため、電気の使用量が大幅にアッ
プし、製造現場を省エネ化するための大きな阻害要因になっています。製品品質を確保するため
にＦＦＵや空調設備は必要だが、製造現場の省エネ化のためには、電力を大量に使用する設備は
できるだけ稼働させたくないという、相反する課題が増加しています。
そのため、必要な部分だけをクリーン化する「局所クリーン」を検討される企業が増えており、
「局所クリーン」化した部分が必要なクリーン度を保てているのかどうかを管理することが重要
な課題となっています。
［オムロンの商品コンセプト］
オムロンはこれまで自社を含むセル生産をおこなう製造現場や、電子部品製造工程の
局所クリーン化ニーズに応えるため、「エアクリーンユニット」、「エアパーティクルセンサ」
「イオナイザユニット」のクリーンセンシング機器を開発し、発売してきました。
今回はその中で培ったノウハウや実績を活かし、最近増加しつつある「製造“環境”の見える
化」という新たなニーズにお応えするため、全く新しい「環境センシングシリーズ」を順次発売
していくことを決定しました。温湿度やパーティクル、静電気など製造現場における、あらゆる
環境情報をセンシングし、常時「見える化」することで、製品品質の維持向上や無駄エネルギー
の発見に貢献してまいります。
＜環境センシングシリーズ第一弾：エアパーティクルセンサ＞
今回発売するエアパーティクルセンサは環境センシングシリーズの第一弾であり、
お客様に大きく二つのソリューションを提案いたします。
（１）浮遊するパーティクル（微粒子）を高精度に常時管理する
（２）落下するダスト（粗粒子）をかつてない手軽さで管理する
（１）高精度計測と常時計測を両立させた微粒子計測タイプ（形ＺＮ−ＰＤ０３−Ｓ）
これまで、０．３μｍ〜１．０μｍの微粒子計測は、一般的にはパーティクル計測機を用い
て人の手で定点測定している場合がほとんどでした。しかし、こうした場合は時間ごとや曜
日ごとなど、時系列的な傾向がつかみにくいだけでなく、断続的な測定となるため、万一不
具合が発生した場合の解析に十分活用することができませんでした。
今回発売する微粒子計測タイプのパーティクルセンサ（形ZN-PD03-S)なら、導入コストを大
幅に抑制しながら０．３μｍ、０．５μｍ、１．０μｍの微粒子を高精度に同時計測できま
すので、トレーサビリティや不具合時の解析、工数削減に大きく貢献します。
特長１ ＜計測器に迫る高精度計測＞
徹底的に整流化した内部構造と大吸引ファンで、２．８３リットル/minの吸引量を確保。高精度
変位センサで培ったオムロンのレーザ光学設計技術により、計測器並みの精度を実現しま
した。
特長２ ＜常時計測に適した省メンテナンス設計＞
長時間駆動が可能なファンの採用とレーザ間欠照射モードによるレーザ寿命の向上によ
り、メンテナンスの工数を大幅に削減できます。また、短寿命のため頻繁な交換が必要な
外付けポンプを不要としているため、メンテナンスコストも削減できます。
（２）ダスト計測と発塵源調査を1台で実現可能な粗粒子計測タイプ（形ＺＮ−ＰＤ５０−Ｓ）
クリーンルームではない一般環境で造られる製造物の品質に影響を及ぼす異物は、人や装置
から発塵される、粗い粒子（５μｍ〜５０μｍ程度）いわゆるダストである場合が大半です
が、これまでこういった粗粒子は管理規格もなく測定する機器も一般的ではなかったため、
容易に管理することができませんでした。
今回発売する粗粒子計測タイプのパーティクルセンサ（形ZN-PD50-S)は、これまで容易に実
現できなかったダスト管理をかつてない手軽さで実現します。
特長１ ＜落下するダストを効率的に計測＞
漏斗形状の吸引部を採用。大吸引ファンとの組合せで、落下するダストを確実に吸引しま
す。大きなダストはフィルタがキャッチするので、目詰まりも起こしにくく、交換も簡単
です。
特長２ ＜ダストキャッチ機能で発塵源の特定に貢献＞
引き出し構造のトラップボックスに両面テープを貼付すれば、吸引したダストを捕捉でき
ます。捕捉したダストを拡大観察することで、発塵源の特定につながります。
（３）計測データを異常の早期発見、傾向分析に活かす、環境見える化ソフト
「ＷａｖｅＩｎｓｐｉｒｅＥＳ」
環境見える化用ＰＣソフト ＷａｖｅＩｎｓｐｉｒｅＥＳ （形ＺＮ−ＳＷ１１−Ｓ）は、
ＬＡＮ接続したパーティクルセンサの計測データを簡単にグラフ化したり、ロギングしたり
できます。日々の変化をグラフで確認することもできるので、トレーサビリティや不具合の
解析に役立ちます。また、設置したパーティクルセンサの計測値をお客様の現場レイアウト
図上に表示できるので、製造現場の清浄度が一目でわかります。
今回発売するエアパーティクルセンサには、トリガ入力と２段階のアラーム出力とエラー出
力を装備。トリガ入力で必要なときだけ計測したり、管理レベルに応じた警報を出力したり
できます。また、ＬＡＮポートを標準搭載していますので、パソコンとイーサネットハブだ
けで簡単に多点監視システムを構成することが可能です。
さらに、ＰＬＣ（推奨：当社製 SYSMAC CS/CJシリーズ Ethernetユニット）と接続して、製
造環境に応じた独自の省エネシステムを構築していただけます。
■標準価格（税抜） オープン価格
■担当工場 綾部工場
■目標販売台数 ２００９年度 ２，０００台
■詳細お問い合わせ先
http://www.omron.co.jp/press/2009/04/i0415.html
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