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【矢野経済研究所調査結果サマリー】CMPスラリー/Siウェハー用ポリシング材世界市場に関する調査結果2013

1.調査期間:2013 年2月〜4月
2.調査対象:CMPスラリーメーカー、各種ポリシング材メーカー、原料メーカー
3.調査方法:当社専門研究員による直接面談ならびに文献調査併用


<CMPスラリーとは>
CMPスラリーとは、半導体のCMP(Chemical Mechanical Polishing;化学機械研磨)プロセスに用いられる、砥粒を含んだ薬液をさす。本調査では、ILD(Inter Layer Dielectrics:層間絶縁膜)やSTI(ShallowTrench Isolation:素子間分離)、P-Si(多結晶ポリシリコン)などの研磨用を酸化膜向け市場に、W(タングステン)やCu(銅)バルク/バリアなどの研磨用をメタル配線向け市場に分類し、市場規模を算出した。


<Siウェハー用ポリシング材とは>
本調査におけるSiウェハー用ポリシング材とは、(基板用ポリシング材のうち)Siウェハーのポリシング工程(前段工程、中間工程、ファイナル工程)で使われるポリシング(研磨)材をさす。Siウェハーの切断工程やラッピング工程で使われるポリシング材は含まない。



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■YRIマーケットNow
http://www.yano.co.jp/press/press.php/001098
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