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京セラ株式会社（社長：谷本 秀夫、以下京セラ）は、超小型水晶振動子を実現した超精密プラズマ加工技術の開発について、技術的な協力をいただいた大阪大学 山村和也教授と共に、文部科学省が実施する「令和3年度科学技術分野の文部科学大臣表彰」の「科学技術賞（開発部門）」を受賞しましたので、お知らせいたします。
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超精密プラズマ加工技術を活用した超小型水晶振動子
本表彰は、科学技術に関する研究開発、理解増進等において顕著な成果を収めた者について、その功績を讃えることにより、科学技術に携わる者の意欲の向上を図り、我が国の科学技術水準の向上に寄与することを目的に顕彰されるものです。「科学技術賞（開発部門）」は、我が国の社会経済、国民生活の発展向上等に寄与し、実際に利活用されている画期的な研究開発若しくは発明を行った者に授与されます。
超小型水晶振動子を実現した超精密プラズマ加工技術（プラズマCVM技術※1）は、プラズマ中の中性ラジカルと加工物表面の化学反応を利用した加工方法で、表面にダメージを導入することなく水晶ウエハの厚さ分布をナノメータオーダの精度で均一化できる技術として、大阪大学と京セラが共同開発したものです。 これにより、周波数のばらつきを低減した高性能水晶ウエハの製造に成功し、超小型水晶振動子の量産化を実現しました。本技術開発は、スマートフォンやウェアラブル端末のさらなる普及拡大や、補聴器・医療カプセルなどの小型化にも寄与しています。
当社は本技術をベースに、車載向け低周波帯振動子や、通信基地局向け高周波帯振動子、高精度発振器など、さまざまな製品の開発をさらに加速し、5G通信や先進運転支援システム（ADAS）など、IoTが進展する社会を支えてまいります。

※1 プラズマCVM技術：Chemical Vaporization Machining（化学的気化加工法）の略

■本表彰について
＜文部科学省HP＞
令和3年度科学技術分野の文部科学大臣表彰受賞者等の決定について
https://www.mext.go.jp/b_menu/houdou/mext_00547.html
＜京セラ 電子部品HP＞
https://www.kyocera.co.jp/prdct/electro/product/crystal-device/xtal/
https://www.kyocera.co.jp/prdct/electro/product/crystal-device/topics-1.html