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≪ご案内≫
オムロンは、世界最大規模のＭＥＭＳ、超精密・微細加工、ナノテク、バイオに関する展示会「マイクロマシン／ＭＥＭＳ展」に出展します。スマートセンシングモジュールが実現するセンサーネットワーク社会の紹介をはじめ、モバイル用ＲＦスイッチや絶対圧センサなど最新のＭＥＭＳ技術を展示します。ご来場の際は、是非当社ブースにお立ち寄り下さい。

＜第２１回　マイクロマシン／ＭＥＭＳ展　概要＞
■日程：2010年7月28日(水)〜7月30日(金）
10:00〜17:00
■場所：東京ビッグサイト 東ホール
　　　　http://www.micromachine.jp/top.html
■出展物：スマートセンシングモジュール、MEMSモバイル用RFスイッチ、MEMS絶対圧センサ、
MEMS非接触温度センサ、MEMS ATE用RFスイッチ、フローセンサ




大幅なCO2排出量削減を可能にするスマートセンシングモジュールの開発に向けて


オムロンは、環境に優しく、人々が安心・安全で健康に創造的な活動を楽しめる社会の実現を目指し、センサーネットワークの構築に向けた技術開発を行っています。センサーネットワークとは、当社独自のセンシング＆コントロール技術とネットワーク技術が融合し、センサ同士が自律的に分散・協調しあい利用者に最適な情報・価値を提供する、未来社会に向けた情報基盤です。

センサーネットワークが実現する様々な価値の一つに、“ 工場におけるエネルギー利用の全体最適”があります。
　たとえば、これまで、エネルギーを莫大に消費する半導体や液晶ディスプレイに代表されるプロセス系工場では、製造装置や設備ごとにエネルギー利用の効率化を進める“個別最適”が中心でした。一方、センサーネットワークを構築した工場では、センサ同士が協調して工場全体で発生する様々な変化を捉え、相互に情報交換することで、エネルギー利用を“全体最適”に制御することが可能となり、大幅なＣＯ２の削減が見込めます。

こうしたセンサーネットワークを実現するキーデバイスが「スマートセンシングモジュール」（以下、ＳＳＭ）です。ＳＳＭは、ＭＥＭＳ（※１）や半導体を集積した数ミリ角のセンサーモジュールで、当社独自の知識情報制御技術（※２）や環境振動発電デバイス（※３）を搭載することで、計測・知能（判断や予測）・無線通信・自己発電といった自律・分散に必要な機能を一体的に発揮する革新的なデバイスです。

現在、当社では、ＳＳＭの完成に向け社内の各所において実証実験、技術開発を重ねており、このほど、各種ＭＥＭＳセンサを搭載した１ｃｍ角のデバイスを試作しました。試作したデバイスは、工場の製造装置や設備の状態把握に必要な、計測・無線通信・電源の各機能を一体化したものです。温湿度、風量、振動、電流などの各種データを高精度に測定し、結果を無線でホストサーバへ送信します。

また、試作デバイスを用いた実証実験は、ＭＥＭＳ・半導体の生産拠点である野洲事業所（滋賀県野洲市）で行っています。当社は、この実験を通じて、プロセス系工場全体での大幅な環境負荷低減を実現するノウハウを獲得し、「知能」としてＳＳＭおよびセンサーネットワークに搭載していくことを目指しています。

当社では、ＣＯ２削減に必要な判断能力をもつ革新的なセンサーネットワークを構築し、“工場におけるエネルギー利用の全体最適”を実現することで、低炭素社会の構築に貢献していきます。


＊１　ＭＥＭＳとは：マイクロ・エレクトロ・メカニカル・システムズの略称。
半導体製造装置を用いた微細加工技術で作られた微小三次元構造体の総称です。日本では「マイクロマシン」と呼ばれ、現在最も注目されている技術分野の一つです。
　
＊２　知識情報制御技術とは：
人が持つノウハウや知識、経験などをコンピュータに学習させ、コンピュータで実行可能なアルゴリズムとして活用する当社独自の技術です。熟練技能者が持つ属人的な知識や経験則を形式知化して機械に搭載することで、誰もが知識の有無に関わらず専門的な業務を担えることを目的に、研究開発してきました。

＊３　環境振動発電デバイスとは：
これまで活用できなかった微小な環境振動エネルギーを電力に変換し、有効利用する当社独自のエコ技術です。