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株式会社パテント・リザルトは3月8日、独自に分類した半導体製造装置業界の企業を対象に、各社が保有する特許資産を質と量の両面から総合評価した「半導体製造装置　特許資産規模ランキング2020」をまとめました。2019年4月1日から2020年3月末までの1年間に日本特許庁が登録した特許を対象に、個別特許の注目度を得点化する「パテントスコア」を用いた評価を行い、企業ごとに総合得点を集計しました。

その結果、1位 東京エレクトロン、2位 APPLIED MATERIALS、3位 SCREENホールディングスとなりました。

【画像 https://www.dreamnews.jp/?action_Image=1&p=0000231424&id=bodyimage1】

1位 東京エレクトロンの注目度の高い特許には「基板に金属を含有するレジストを塗布してレジスト膜を形成し、露光後の当該レジスト膜を現像する塗布、現像方法」や「フォトリソグラフィの歪みを低減する方法及び装置」に関する技術が挙げられます。

2位 APPLIED MATERIALSは「真空チャンバ内で基板キャリアを搬送する装置」や「ディスプレイ製造用大面積基板を検査するための装置」に関する技術などが、注目度の高い特許として挙げられます。

3位 SCREENホールディングスの注目度の高い特許には「基板上の欠陥の分類性能を向上した画像分類装置」や「ＵＶ光を基板に照射させずにラジカルにより基板をエッチングするエッチング装置」などに関する技術が挙げられます。

4位 ASML NETHERLANDSは「総生産性を低下させることなく結像品質の向上を達成できるリソグラフィ装置」、5位 アルバックは「簡便に設定値を設定、変更できるように構成した真空計」などが、それぞれ注目度の高い特許として挙げられます。

詳細については、ランキングデータ「半導体製造装置　特許資産規模ランキング2020」にてご覧いただけます。

■価格：50,000円（税抜）
お申し込みは下記URLをご参照ください。
https://www.patentresult.co.jp/news/2021/03/semicon.html

■本件に関するお問い合せ先
株式会社パテント・リザルト　事業本部　営業グループ
Tel：03-5802-6580
Fax：03-5802-8271
ホームページURL：https://www.patentresult.co.jp/

■会社概要
社名：株式会社パテント・リザルト
住所：〒113-0033　東京都文京区本郷2-15-13　お茶の水ウイングビル５階



配信元企業：株式会社パテント・リザルト
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